建成国内首家MEMS专业中试平台

今年5月,高新区MEMS研究院承担的“MEMS产业研究院”项目通过山东省科技厅、淄博市科技局、高新区科技局的联合专家组验收。项目实施期间获得首批市高新技术创新“双十计划”立项,给予70万元资金扶持,省拨经费400万元、高新区配套80万元。“目前,研究院已建成国内首家MEMS专业化中试代工平台,可为淄博本地乃至省内外客户提供MEMS小试、中试及代工服务。”高新区MEMS研究院科技管理部部长刘通日前接受记者采访时介绍。

今年3月,首届中国(淄博)MEMS产业战略高峰论坛在淄博市举行。期间,高新区MEMS研究院制造的MEMS陀螺、加速度计、继电器等产品正式下线。“MEMS陀螺作为一种微型姿态控制核心器件,广泛应用于手机定位、卫星以及火箭的姿态控制等方面；MEMS加速度计,则用于汽车气囊起爆控制、手机以及可移动设备的导航功能；MEMS继电器是极其微小的开关,一个小拇指的指甲能摆放4个,在智能手机、汽车等领域普遍使用。”刘通向记者介绍。此外,研究院在研的还有MEMS微探针,主要用于高端的、具有特殊结构的原子力显微镜探针中,打破国外垄断,实现自主国产化。

通过验收的“MEMS产业研究院项目”是省重点研发计划(创新公共服务平台建设)的项目之一。目前,具备国际先进水平的硅基MEMS中试代工平台,可为客户提供MEMS小试、中试以及硅基工艺代工服务,有效服务淄博以及省内外客户,助力提升IC卡产业竞争力。

“MEMS产业本身就是信息产业的一个重要发展方向,也是传感器和智能微系统行业颠覆性技术。淄博市政府、高新区管委会和清华大学选择MEMS行业进行投资和开发,经过几年努力已经开花结果。”研究院院长、清华大学副校长尤政院士在接受记者采访时表示。后续,在继续完善MEMS中试代工平台的基础上,延伸建设MEMS设计与开发、小试与中试、封装与测试平台,通过高新区MEMS研究院的技术牵引,淄博将逐步建成国家级MEMS产业基地、军民融合发展示范基地、产学研用全产业链核心共性技术协同创新平台。

(晚报记者赵瑞雪通讯员朱俊儒)

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