微纳小世界感知大信息 记“西安青年科技之星”西安交通大学副教授田边

书山有路勤为径，学海无涯苦作舟。西安交通大学机械工程学院田边副教授坚持“微纳小世界，感知大信息”的研究思路，经过十余年对微纳传感技术的攻坚克难，作为第三完成人参与的“高动态MEMS压阻式特种传感器及系列产品”项目，解决了发动机、水下兵器等国防、航空航天以及石化领域中的压力/加速度测量难题，荣获2017年度国家技术发明奖二等奖。

MEMS是一项革命性的新技术，广泛应用于高新技术产业，是一项关系到国家的科技发展、经济繁荣和国防安全的关键技术。在该领域我国相对于国际顶尖水平较为落后，且部分产品对我国实施禁运，严重制约了我国国防、军工以及能源、化工等重要领域的科技发展。正是在此背景下，田边副教授依然选择了困难较大但是意义重大的微纳传感器为研究方向。

选择出发，就从未停止，田边在MEMS传感器及微纳制造领域一扎就是十年。压阻式压力传感器存在灵敏度与线性度无法兼顾的固有矛盾问题，非线性变形比较大，结构的固有频率提高难，灵敏度等缺点限制了压阻式传感器的发展，所以克服其缺点是设计压阻式系列传感器的一项重要工作。如何解决灵敏度、线性度和固有频率的制约矛盾以提高传感器测量精度，一直是MEMS压阻式传感器行业存在的技术难题。与此同时，针对航空发动机的超高温温度测量难题，进行MEMS热电偶薄膜研究，解决了一直困扰航发高温测量中“测不到、测不准”的问题。“解决系列问题，需要抓住主要矛盾。”十几年来田边一直专注于该领域。

功夫不负有心人，2007年开始从事MEMS微纳传感器相关研究以来，田边发表相关SCI/EI论文47篇，授权发明专利9项，主持并参与国家及省部级项目数项，包括主持国家青年自然基金1项、国家重点基金项目子课题1项、863子课题1项，并参与973、863、重大专项等项目研究。获得国家技术发明奖二等奖、陕西省科学技术奖一等奖、苏州吴江区科技领军人才、西安市机械学会青年学术贡献奖、中国（国际）传感器创新大赛创新设计类别三等奖、中国（国际）传感器创新创业大赛创新设计类别二等奖。谈起自己所获的成绩，他仍然谦逊地说：“我还需要继续努力。”

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