中国工程院院士蒋庄德 我国高端MEMS传感技术开拓者

愈深厚，愈亲切，这是中国工程院院士、陕西省科协主席、西安交通大学教授蒋庄德给很多人的感觉。他是我国高端MEMS(微机电系统)传感技术的开拓者和带头人，长期从事微纳米制造和精密测量技术等方面的研究，在耐高温压力传感器及系列MEMS器件、数字化精密测量技术与装备的工程科技领域作出了重要贡献，并在微纳米技术相关基础理论等方面开展了创新性研究。

从“零的突破”到“高端领跑”

1977年，22岁的蒋庄德从西安交大机械制造专业毕业后留校任教。后获西安交通大学机械制造专业工学硕士学位和英国伯明翰大学机械工程专业博士学位。1993年，他向学校提交了《关于立即开展微型机械电子系统和纳米技术研究的报告》，这在校内属首次。然而，开展MEMS和纳米技术方面的研究，当时困难极大。这方面的研究属于机械、电子等交叉学科，没任何基础，基本处于无资金，无队伍，无专业实验室的“三无”状态。在学校给了两万元钱作为启动资金后，蒋庄德从骊山微电子公司买了一批二手设备，自己动手在实验室搭了一个简易暗室，开始了MEMS领域的科研攀登。当时，因条件所限，他就带着研究生们，借助姚熹院士的实验室奋战了几个月，最终成功研制了分度圆直径为300微米的硅基渐开线齿轮和阵列式硅微传感器。

随着研究前景的日益明晰，蒋庄德获得了越来越多的支持：国家自然科学基金、国防青年基金、教育部博士点基金、国家重点实验室基金……特别是在学校的支持下，团队终于结束了“借壳”生活，从中科院化学所购置了扫描隧道显微镜（STM）等仪器设备，拥有了一个50平方米左右的超净实验室。

2006年，蒋庄德获得国家技术发明二等奖。以表彰他突破了一系列技术难题，开发了具有自主知识产权的MEMS耐高温、耐高压、高过载、超高g值和集成传感器等系列产品，打破了国外的技术封锁与垄断。

2009年，蒋庄德获得国家科技进步二等奖。开发的激光扫描测量仪、多功能复合式坐标测量机、精密齿轮测量中心等多项产品的性能指标达到了国外同类产品先进水平，并且实现了产业化，广泛应用于我国的军工和民用领域。

承前启后传道授业

个人价值唯有在团队支持下才能得以升华，这是蒋庄德一直以来坚持的观点。他总是感恩于前辈和学校对起步阶段的自己所给予的支持，而现在，他也像自己的前辈一样支持自己的学生——“这是一种精神的传承”。

蒋庄德常跟学生们说一句话：划好了道，你们只管往前跑，甩开膀子，别有压力和顾虑！

1999年师从蒋庄德的赵玉龙，如今已是国家杰出青年基金获得者、教育部长江学者特聘教授。蒋庄德培养毕业的博士和硕士生已超过百人，包括国家杰出青年基金获得者、教育部长江学者特聘教授、中组部“万人计划”科技创新领军人才、中组部青年千人、全国百篇优博获得者、陕西省三秦学者和科技新星及教育部新世纪优秀人才等。

刘昱含 本报记者王嘉

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