光刻机厂商ASML三季度卖出60部光刻系统，营收高于预期达40亿欧元

记者 | 彭新

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半导体光刻机厂商ASML今日发布2020年第三季财报，营收40亿欧元优于预期，预计第四季的营收将在36亿欧元到38亿欧元区间，2020年全年营收预期至少133亿欧元，并看好2021年将有两位数的营收增长。

根据ASML 2020年第三季财报显示，ASML销售净额为40亿欧元，净收入11亿欧元，毛利率47.5%，新增订单金额29亿欧元。从出货来看，当季总共销售60部光刻系统，包括57部新系统和3部二手系统。截至三季度系统装机量达到862部。

目前，ASML仍是世界上少数几家制造芯片光刻机的企业。光刻机在芯片生产中极为关键，其中极紫外光刻机（EUV）目前仅有ASML能够生产，这种设备主要用于生产7纳米及更先进制程的芯片。

在DUV（深紫外光）光刻业务领域，ASML对首台TWINSCAN NXT：2050i光刻机进行了质量认证，将立即进入批量生产，并于第四季度初发货。 NXT：2050i在掩模版工作台，晶圆工作台，投影物镜和曝光激光器的技术改进。可实现较于前一代更好的套刻精度控制和更高的生产率。

EUV（极紫外光）光刻业务领域，ASML表示，绝大部分TWINSCAN NXE:3400B系统在客户处同时进行了生产率模组的升级。该公司公布了TWINSCAN NXE：3600D光刻机的最终规格，可提高18%的生产率，该机型计划于2021年中开始发货。

ASML总裁兼CEO韦尼克(Peter Wennink)表示，ASML第三季的营收高于预期，毛利率维持在47.5%。今年第三季，完成10台EUV系统出货，并确认14台EUV系统的销售收入。

韦尼克还表示，公司运营并未受到新冠疫情的负面影响，第三季的新增订单金额达到29亿欧元，其中5.95亿欧元来自4台EUV系统订单。

展望2021年，韦尼克称，尽管宏观环境存在不确定性，包括COVID-19疫情的经济影响和地缘政治发展。然而长期来看，终端市场驱动因素的发展（例如5G、AI和高性能运算）将推动对于高阶逻辑运算和内存芯片的需求，这些先进制程的应用，都需要使用到先进光刻机。

在半导体制造客户方面，台积电今年5纳米量产，将扩大采购EUV设备。据供应链消息称，台积电目前累计采购的EUV设备已超过35台，占ASML过半产量，比其他竞争对手加起来还多。此外，三星电子为发展5纳米EUV制程，以及以极紫外光刻技术（EUV）生产首个10纳米DDR4 DRAM模组，也将持续采购EUV设备。

ASML在今年早些时候停止了高达60亿欧元的股票回购计划，其中包括总计不超过40万股的股票，用于员工持股计划。在财报发布后，该公司宣布在本周恢复执行股票回购。

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