自主创新 一路领跑 记晶导微电子年产300万片6英寸GPP芯片项目

本报记者 张帆

本报通讯员 梅花 张艳

走进晶导微电子年产300万片6英寸GPP芯片项目展厅，多处可见“让中国半导体走向世界”的醒目标语。这一目标，在1700多名晶导人的眼前，更在他们的脚下。

日前，该项目被评为济宁市新旧动能转换十佳项目，是山东省新旧动能转换优选项目。项目的实施填补了国内6英寸台面技术空白，新增专利3项，芯片从6次光刻+平面结构的复杂工艺到3次光刻+台面结构的简单工艺全面升级换代，使山东晶导微电子股份有限公司成为行业领导者，将建设成为全国一流的半导体芯片智能制造基地，全面实现产业结构的升级换代。年可生产6英寸GPP芯片300万片，新增产值6亿元、利税1.44亿元，成为国内前三的芯片研发生产企业。

“新旧动能转换，我们一直在路上。技术创新没有终点，产品升级更没有止境。”公司副总经理张皓劼说，年产300万片6英寸GPP芯片项目是公司新旧动能转换的重要领域，实现了技术突破和产品升级。该技术可以广泛应用于开发各类分立器件芯片的开发，降低芯片制造成本，提高国际竞争力，推广到整个行业后，预计行业每年可以降低生产成本10亿元。

在项目生产车间里，1000余台套国际先进的自动化生产线和检测设备有序运转，工人们正在赶制一批续流应用超快恢复芯片订单，新设备也正在紧张调试中。项目投产仅半年时间，订单已应接不暇，月产30万张芯片依然供不应求。

“这一条6英寸GPP芯片生产线产品有两大类，一类是应用于IGBT模块，还有4G、5G通讯应用方面配套产品，另一类是系统级先进封装SOP专用芯片。”芯片事业部总经理陆新城手里拿着一张6英寸GPP芯片成品介绍说，在同等耗能条件下，相比4英寸芯片虽然只是大了两英寸，但是能够提高2.25倍的产能。项目的使命就在于主要研究6英寸GPP大尺寸晶圆工艺，取代3英寸4英寸晶圆工艺，提高晶圆利用率，降低GPP芯片成本，依靠自主知识产权全面取代OJ芯片，实现产品的升级换代。

“因为我们是全国第一条6英寸GPP生产线，它的工艺难点是晶圆片芯片机械强度不足，通过我们的工艺路线的优化，产品结构的微观设计解决了这个问题。”陆新城告诉记者。

如何提高芯片的晶圆利用率是决定业内工艺水平高低的最主要标准。晶导微给自己制定的目标是芯片晶圆良品产出率95%。该项革命性技术突破后，可实现国际领先，可强势用于各类高端功率半导体器件芯片的开发，独树一帜，替代高端进口器件。

“现在我们的产品主要应用于消费电子，下一步的计划是希望我们的产品有更高端的应用，比如说汽车电子、军用项目，致力于建设成为全国一流的半导体芯片智能制造基地。”陆新城充满信心地说。

作为曲阜市重点招商引资项目，晶导微电子年产300万片6英寸GPP芯片项目今年4月份就实现量产，政府不到一年的时间就帮助解决了各项审批和配套，比预计投产时间提前了四个多月。

“政府的帮扶是项目顺利投产的坚强后盾。”张皓劼感慨道，年产300万片6英寸GPP芯片项目提前完成各项预期目标，离不开政府的现场办公，园区的优质服务。项目建设手续办理上，组织专班人员到企业现场办公，各办理环节压茬进行，使企业用最短的时间办理完成各类负责的审批手续，引入外部多个基金到企业现场对接项目，并最终获得基金机构的资金支持，加快了项目固定资产的购置，同时在政策上给予指导，促使项目成功入选省科技重大专项计划。

年产300万片6英寸GPP芯片项目由山东晶导微电子股份有限公司投资2.2亿元建设，建筑面积2万多平方米。山东晶导微电子股份有限公司自落地曲阜以来，始终坚持人才和技术“双轮驱动”，依靠自主创新推动项目快速发展，拥有多项自主研发成果，并通过了各项管理体系认证，生产技术水平在国内处于领先地位，建立的技术平台有省企业技术中心、省工程实验室，荣获山东省首批瞪羚示范企业、省上云标杆企业。先后获得AAA级诚信企业、企业诚信建设、山东省高新技术企业等荣誉称号，也成为曲阜市企业高质量发展的生动样本。

“年产300万片6英寸GPP芯片项目将成为公司发展的强劲引擎，推动企业主板上市，实现行业前三的地位，给其他企业做好示范、引领、带动的作用，让中国半导体走向世界。”张皓劼充满信心地说。

记者感言：技术创新没有终点，产品升级更没有止境。作为“四新”经济项目，晶导微电子年产300万片6英寸GPP芯片项目将建设成为全国一流的半导体芯片智能制造基地，全面实现产业结构的升级换代。“四新经济”是一把“钥匙”，是开启未来的关键，晶导微电子年产300万片6英寸GPP芯片项目这样的“四新经济”项目，是济宁市产业转型升级、新旧动能转换的重要支撑，对其他产业和整个区域的发展起到巨大的带动引领作用。

图为晶导微电子芯片生产线。记者 刘项清 摄

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