高芯众科：打造晶圆再生“高地”

□ 记者 倪晓春

4月11日下午，记者一行走进位于池州经济技术开发区电子信息产业园的安徽高芯众科半导体有限公司，透过一面class100无尘室的洁净玻璃，记者看到，左边一张洁净工作台上满满当当的码放着一包包已经装封好的无尘布，几名从上到下只露出两只眼睛“全副武装”的工作人员正在紧张忙碌地清洁室内的工作台、地面等。

“这是一间超高等级的无尘室，工作台上的那些是我们公司生产的9英寸×9英寸超高等级无尘布，用于擦拭光学镜头、液晶面板等精密仪器，对环境要求特别高，这些工作人员现在正按照要求，做下班前的室内清洁工作。”公司副总经理范银波介绍说，安徽高芯众科半导体有限公司于2015年6月落户池州经济技术开发区电子信息产业园，注册资本金为5000万元，是一家主要从事晶圆再生，半导体、光电设备精密零部件再生服务业务以及洁净耗材类生产销售的高新技术企业。该企业不仅具备国内领先的精密再生技术和一流的制造，还拥有世界一流的日本安川全自动熔射/喷砂机械人、美国普莱克斯电弧熔射涂层机、美国富技腾超高水压去膜机、美国艾默生超精密清洗机以及韩国超精密研磨机等主要生产设备，主要为无锡海力士、力特、上海先进等各大半导体晶圆制造工厂以及京东方、三星、中电熊猫等TFT-LCD制造工厂供应产品。

“2015年底，我们投资建设的5.2亿元的晶圆再制造项目中的一期在市政府的大力支持下，仅用70天时间即完成建厂并顺利投产。”范银波告诉记者，晶圆为半导体必不可少的主要基础材料之一，价格不菲。生产一个半导体需要700多道工序，每一道工序都需要控片（晶圆的一种）来检测质量，否则就可能生产出不良品。早期，控片在使用过后就被废弃，后来随着产业快速发展，晶圆材料尺寸变大，而且成本也越来越高，使用一次即废弃太可惜了，随后便发展出再生晶圆产业，而且前景良好。“再生晶圆是我们公司的核心业务，我们将使用过的晶圆上面的薄膜等污染物经过研磨、抛光等程序后，不断重复再生利用，直到晶圆厚度薄到晶片所需的最小尺寸以下，才真正废弃或降级提供给太阳能行业使用。再生晶圆的价格仅只有新晶圆的15%左右，不仅大幅降低了厂商的生产成本，也为我们带来了无穷商机。”

“目前，我们已拥有全国唯一一所10级无尘室，即每立方米0.3微米颗粒不超过10颗。不同于以往化学药液浸泡再生的方式，我们现在采用的是全新物理去除技术，将再生晶圆使用寿命提升了近一倍，并且做到无污染。”范银波信心满满地说，池州生态环境优良、交通便捷，是发展高洁净半导体产业的福地。近年来，公司已先后完成一期各个项目的认证过程，并分别进入量化生产。公司计划今年年底动工建设二期项目，并于2018年正式投产。预计两期项目全部达产达效后，可以解决百余名本土务工人员就业，实现年销售收入6亿元，年税收4800万元。

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